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上海辰儀測量技術(shù)有限公司 MEMS皮拉尼真空計|MEMS電容真空計|陶瓷電容薄膜真空計|金屬電容薄膜真空計
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上海辰儀測量技術(shù)有限公司是一家成立于2021年的公司,專注于設(shè)計、研發(fā)、生產(chǎn)和銷售品質(zhì)、高精度的真空計,以及提供專業(yè)的真空測量和分析解決方案。我們的產(chǎn)品和技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導體、光伏、平板顯示器、一般工業(yè)真空、鍍膜等領(lǐng)域,對許多設(shè)備制造商和用戶具有重要意義。此外,我們的產(chǎn)品和技術(shù)也在生命科學、科研、航空航天、包裝、熱處理、激光等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。公司總部位于上海市松江區(qū)啟迪科技園,團隊成員均來自真空行業(yè)研發(fā)和產(chǎn)品線,擁有多年的真空技術(shù)和應(yīng)用經(jīng)驗。

上海辰儀測量技術(shù)有限公司公司簡介

上海高質(zhì)量真空計設(shè)備公司 上海辰儀測量技術(shù)供應(yīng)

2025-06-27 19:12:54

熱傳導真空計:利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數(shù),故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導真空計主要用于100~10^-1帕范圍,采取特殊措施可擴大測量范圍。不過,熱傳導真空計的指示不但和氣體種類有關(guān),而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響,故準確度不高,只作粗略的真空指示用。粘滯真空計:利用在真空中轉(zhuǎn)動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發(fā)生運動衰減的現(xiàn)象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關(guān)。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計利用可控磁場把不銹鋼球懸浮在真空中,用旋轉(zhuǎn)磁場把鋼球加速到400轉(zhuǎn)/秒,然后停止加速,任其自然衰減,用電子學方法精確測量其轉(zhuǎn)速衰減率,從而確定壓強。這種真空計具有很高的測量精度,吸氣、放氣速率小,壓強指示受氣體種類影響小,如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計在高真空端的讀數(shù)受振動影響較大,測量時間也較長。因此,它可作為1~10^-4帕范圍內(nèi)的副標準真空計或用作標準傳遞真空計。在皮拉尼真空計中,熱敏電阻被放置在一個密閉的容器中,容器的內(nèi)部空氣被抽空,使其成為真空。上海高質(zhì)量真空計設(shè)備公司

皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂(電阻)。在測量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時,由于氣體分子數(shù)量減少,加熱絲的熱導率降低,導致加熱絲溫度進一步升高。這一溫度變化會引起導線電阻的變化,通過惠斯通電橋測量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數(shù)。皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數(shù)字化的工作。上海高質(zhì)量真空計設(shè)備公司選擇真空計的標準是什么?

真空計用于測量真空系統(tǒng)中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據(jù)測量需求選擇合適的真空計類型,常見的有:熱偶真空計:適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計:適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計:適用于中真空(0.1 Pa - 1000 Pa)。電容薄膜真空計:適用于寬范圍(10^-4 Pa - 1000 Pa)。2. 安裝位置選擇:安裝在真空系統(tǒng)靠近測量點的位置,避免氣流或溫度波動影響。連接方式:確保接口密封良好,通常使用法蘭或螺紋連接。3. 校準校準步驟:使用標準真空源或校準設(shè)備,按說明書進行校準。校準頻率:定期校準,確保測量精度。4. 操作啟動:接通電源,預(yù)熱(如有需要)。讀數(shù):待讀數(shù)穩(wěn)定后記錄壓力值。調(diào)整:根據(jù)測量結(jié)果調(diào)整真空系統(tǒng)。5. 維護清潔:定期清潔傳感器,避免污染。檢查:檢查密封性和電氣連接,確保正常工作。更換:傳感器老化或損壞時及時更換。6. 注意事項量程:避免超出量程使用,防止損壞。環(huán)境:避免在腐蝕性、高溫或高濕環(huán)境中使用。**:操作時注意**,避免高壓或真空泄漏風險。7. 故障處理無讀數(shù):檢查電源和連接。讀數(shù)不穩(wěn):檢查密封性和傳感器狀態(tài)。誤差大:重新校準或更換傳感器。

利用氣體動力學效用類真空計測量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī)。a)波爾登規(guī)利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來測量真空度。當氣體壓力作用在波紋管上時,波紋管會產(chǎn)生變形,這種變形可以通過機械傳動機構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn),從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來測量真空度。當氣壓發(fā)生變化時,薄膜會相應(yīng)地產(chǎn)生形變,這種形變會導致電容的改變,進而通過測量電容的變化量來推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡單、響應(yīng)迅速、測量范圍廣等特點。選擇真空計的原則有哪些?

2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關(guān)系測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:響應(yīng)快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。應(yīng)用:普通真空系統(tǒng)監(jiān)測。(2)熱電偶真空計原理:通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性好。缺點:精度較低。應(yīng)用:低真空和中真空測量。皮拉尼真空計的主要結(jié)構(gòu)包括哪些部分?上海高精度真空計

真空測量的特點有哪些?上海高質(zhì)量真空計設(shè)備公司

真空測量的特點測量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計是間接測量,只有壓力為105~10Pa時,可直接測單位面積所受的力。3采用電測技術(shù),反應(yīng)迅速,靈敏度高,可實現(xiàn)自動化。4大部分真空計的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān)。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分,否則會造成很大誤差。5測量精度不高。選擇真空計的原則在要求的壓力區(qū)域內(nèi)有要求的精度。2被測氣體是否會損傷真空計;真空計可否會給被測氣體狀態(tài)帶來影響。3靈敏度與氣體種類有關(guān)否。4可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應(yīng)時間長短。5穩(wěn)定性、復現(xiàn)性、可靠性和壽命如何。6還要看真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規(guī)格如何。7是否具備耐腐蝕性。特殊的真空介質(zhì)中,如強酸、鹽堿環(huán)境下,要求真空計具備一定的耐腐蝕性能。8是否耐高溫。高溫的工藝環(huán)境下,對真空計中的敏感及電子元器件有較高的要求,不能發(fā)生失效、漂移情況的發(fā)生。上海高質(zhì)量真空計設(shè)備公司

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